三坐标测量仪做为一种精密的测量仪器，如果维护及保养做得及时，就能延长机器的使用寿命，并使精度得到保障、故障率降低。使用时要注意以下事项:
　　1、环境：三坐标测量仪要求在恒温下使用;

　　2、清洁：如工作台的清洁、导轨的清洁等;

　　3、操作时需要注意，三坐标测量仪感应头接触实物的力度;测量工件时，如果中间休息，要把z轴移到下面没有工件的位置。

　　4、还有一些平时的保养，比如：三坐标测量仪动作部位的清洁度，润滑情况等，严禁用脱脂棉清洗导轨，以防止棉绒进入气浮块中。保养过程中不能给任何导轨加任何性质的油脂。为保持室内湿度，不要用湿拖把拖地。不要使用压缩空气来清理三坐标测量仪，压缩空气可能导致污垢、金属片等影响空气轴承的正常工作。