三坐标测量机的测头校正是测量过程中的重要环节,测头校正主要使用标准球进行,虽然红宝石是常用的三坐标测量机校正球材料，但其他材料可能更适合进行接触扫描测量。在扫描测量时，三坐标测量机校正球沿着工件表面滑行，会产生摩擦磨损。在某些情况下，这种长期接触可能会导致三坐标测量机校正球材料从球上被磨除，或工件材料被粘着到三坐标测量机校正球上。无论哪一种情况，都会影响三坐标测量机校正球的圆度。当三坐标测量机校正球的某一部位与工件经常保持接触时，这种圆度误差就会不断增大。
    在扫描测量某些材料表面时，可能会发生磨粒磨损。残留的微小颗粒可能会导致三坐标测量机校正球和工件表面被轻微划伤，从而在三坐标测量机校正球上形成一个微小“平面”。对于此类测量，硬度更高的氧化锆三坐标测量机校正球是一种不错的选择。粘结磨损通常发生在三坐标测量机校正球材料与工件材料具有化学亲和力的情况下，在用人造红宝石三坐标测量机校正球扫描测量铝件时较为常见，因为人造红宝石的主要成分是氧化铝。从相对较软的铝件上转移到三坐标测量机校正球上的材料可能生成一层“涂层”，从而降低三坐标测量机校正球的圆度精度。在这种情况下，氮化硅三坐标测量机校正球是更好的选择，因为这种材料具有良好的耐磨性，而且对铝没有亲合力。