平面度测量是几何量评价的基本内容，是14类误差测量（直线度、平面度、圆度、圆柱度、线轮廓度、面轮廓度、平行度、垂直度、倾斜度、同轴度、对称度、位置度、圆跳动、全跳动）中基本也是具有代表性的。按照“小条件”的要求，平面度误差可以由小包容区域法、对角线法和三点法来评定。以小包容区域法为例，只要满足了下列条件中的一条即可确定平面度误差的大小：

　　（1）三角形法则 图1a为三角形法则。图中点A 为凹形实际表面的高点，a 、b 、c 为三个低点，A 点的投影落在由a 、b 、c 三点构成的三角形内。在满足这一条件的基础上，a、b 、c 点确定平面1，过A点做平面2平行于平面1，则平面1与平面2之间就构成了小区域，两平面间的距离即为平面度误差。

　　（2）交叉法则 图1b为交叉法则。图中点A 、点B 为鞍形实际面的高点，点a 、点b 为低点，过直线AB 和过直线ab 决定了一对平行平面，且两直线成交叉状态，则两平行平面就构成了小区域，两平面间的距离即为平面度误差。

　　对三坐标测量而言，上述两种评价方式都是由相应的特征点（高点和低点）通过计算得到的，可以这样讲，特征点的位置与数量实际决定了平面度误差的大小。

　　另外，评价每一种要素都有一个低测量点数，如平面度测量，无论采用哪种法则都至少要测4点才能计算平面度误差；直线至少要测3点；圆至少要测4点；圆柱至少要测6点。一般情况下，如果测量条件与对象已经确定，那么测点越多，测得的误差值就越能反映测量对象的真实情况，但考虑到测量效率和经济性，测点不可能无限制的增多，特别是在某些精度与批量都要求比较高的场合，希望能够找到一个合适的测点数，使得测量设备既能较快的完成测量任务，又能较为真实的反映被测对象的实际情况。