三坐标测量机是是指在三维可测的空间范围内，根据测头系统返回的点数据，通过三坐标的软件系统计算各类几何形状、尺寸等测量能力的仪器，是一种通用性强、自动化程度高 的高精度测量系统。对一般的测量软件而言，三坐标测量机的测量过程，可分为以下几个步骤（假设测头校验与坐标系的建立已经完成）。
（１）采集特征点的坐标位置。即通过测头直接触测被测对象、 读取并记录坐标值。
（２）按照“小条件”对前面测得的特征点进行计算与构建。如果是形状误差，可直接计算出误差值。
（３）如果是位置误差则按照“小条件”将特征点构建出误差评价所需的点、线、面等基本要素，并用数学的方法计算出各要素间的实际误差，对照图纸判断其是否合格。
    在这一过程中，特征点的采集是后续工作的基础，如果有误，构建出的特征要素就不能真实的反映出零件的实际情况，误差计算与评价的结果也就不可信了。
    从上可以看出，特征点的位置、特征点的数量和采集方式对三坐标测量结果有着非常重要的影响。