如果把整个三坐标测量机系统比作“人”的话，软件系统则是“人”的大脑。三坐标测量机软件系统从表面上看五花八门，但根据软件功能的不同，可把三坐标测量机软件作如下区分。
    （1）基本测量软件 基本测量软件是三坐标测量机的配置软件。它负责完成整个测量系统的管理，包括探针校正、坐标系的建立与转换、输入输出管理、基本几何要素的尺寸与形位精度测量和元素构成等基本功能。
    （2）专用测量软件 专用测量软件是针对某种具有特定用途的零部件的测量问题而开发的软件，有时也称之为特殊测量软件。如齿轮、螺纹、凸轮、自由曲线和自由曲面等测量都需要各自的专用测量软件。
    （3）附加功能软件 为了增强三坐标测量机的功能和用软件补偿的方法提高测量精度，三坐标测量机中还常有各种有各种附加功能软件，如附件驱动软件、统计分析软件、误差检测软件、误差补偿软件、CAD软件等。