影响激光干涉仪测量精度的主要因素如下：
1）激光频率稳定性 在激光干涉仪中，将激光波长作为长度基准，激光频率变化直接影响测量结果。
2）大气折射率
3）死程误差 在零位时，激光干涉仪两相干光的还有一段光程差，这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差，死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。
4）余弦误差 在测定三坐标测量机的定位误差时，需仔细调整，使光束与滑座的运动方向平等。
5）脉冲当量误差 激光干涉仪显示的较小一个数所对应的量值称为脉冲当量。
6）细分误差 在干涉条纹一个周期内由插细分不均匀引起的误差。
7）阿贝误差 为避免阿贝误差，需将角隅棱镜的顶点调整到所测的直线上，否则由于滑座的角运动误差引起阿贝误差。
在三坐标测量机的定位误差测量中，通常选用商品激光干涉仪。频率稳定性、细分误差由激光干涉仪性能决定。在调整、测量中要注意减小大气折射率、死程误差、余弦误差、脉冲当量、阿贝误差等带来的影响。