从测量原理上说，爱德华三坐标测量机直接测得的是被测工件上一些特征点的坐标位置，需要通过软件运算才能获得被测参数的值，因此被测参数的测量精度主要与下列因素有关：
    三坐标测量机系统误差——包括测量机结构误差：位置偏差、垂直度偏差、直线度偏差、角摆偏差等21项误差（水平臂测量机为24项）；通常为了提高三坐标测量机精度，生产商都提供空间21项误差补偿软件，提供三坐标测量机测量精度。
    测头系统误差
    工件形状误差——工件形状误差对测量精度影响很大。一般说来，很难对被测元素进行测量，即使爱德华三坐标测量机，采样点不同时，测得得结果也会不同。也就是说测量结果与采样点位置有关。
    算法计算误差——因为被测几何元素不是理想元素，在数据处理中总是用一近似的理想元素替代它，这一过程叫做拟合算法计算。常用的算法有：二乘法和条件法。二乘法根据误差的平方和开方根为条件求出的值。这种方法的优点是按一定算法直接计算所需要的参数，不需要搜索，已被ISO 10360-6定为测量机软件的标准算法。
    环境因素——因为不同的材料对温度变化的敏感系数差别很大，所以温度变化对测量精度影响很大。为了避免环境对于测量性能的影响，爱德华三坐标测量机采用了各种温度补偿技术，以提高测量机适应环境的能力，减少因温度变化引起变形而产生的误差。