对三坐标测量机的固定部分要求刚性好，受温度湿度影响的变形小（希望结构的变形只是线性，以易于软件补偿）、结构简单、成本低。
    中小型桥式三坐标测量机的固定部分，特别是工作台大部件一般采用花岗石、钢或铸铁，较小的部件采用铝合金材料（电机支架，传动支架）；有时为了增加刚性采用整体结构（例如花岗石台面与导轨）。

花岗石整体结构的导轨及台面

    大型龙门式测量机、水平臂测量机固定部分，大部分采用钢、铸铁或花岗石。