以前一般对三坐标测量机软件引起的误差不太注意，认为数字计算可以很准确，只存在量化误差。但是随着系统测量精度的提高，发现经过处理以后的采集数据也会产生误差，这就是软件误差引起的，软件在数据处理过程中产生较大误差的主要原因如下:
    (1)由于某些计算比较复杂，在软件的编制过程中采用了一些近似算法，例如，忽略了某些原因，使用线性的二乘法来代替非线性二乘法计算;
    (2)在误差计算中常常对两个数值很接近的量进行相减，相减中相对误差增大。相减后再进行乘除运算，误差也会增大。
    (3)软件中对方向余弦的值所给的有效数字位数不够;
    (4)软件对“毛刺”十分敏感，个别值有些偏差就会引起较大的计算误差。
    (5)对数据可能产生的各种情况考虑不周。对一类数据能给出较精确的计算结果，而对另一类数据则会产生较大误差，乃至发生差错，或者根本不能进行计算。