产生、处理和储存压缩空气的设备称为气源设备，由气源设备组成的系统称为气源系统。典型的三坐标测量机气源设备包括空气压缩机，自动排水器，压力开关，压力表，油水分离器，气罐等。通过电动机驱动的空气压缩机，将大气压力状态下的空气压缩成较高的压力，输送给气动系统。压力开关是根据压力的大小来控制电动机的启动和停转。当气罐内压力上升到调定的高压力时，使电动机停止运转，当气罐内压力降至调定的低压力时，则电动机又重新运转。当气罐内压力超过允许限度时，安全阀自动打开向外排气，以保证气罐的安全。冷冻空气干燥式的冷却器降低压缩空气的温度，将水蒸气及油污冷凝成液态水滴和油滴。油水分离器用于进一步将压缩空气中的油，水分离出来。在冷却器，油水分离器和气罐的低点处，设有手动或自动排水器，以便排除各处冷凝的液态油水。