三坐标测量仪有三个可运动的轴，每个轴都有1项定位误差、5项几何误差。几何误差包括：两个方向的直线度误差、两个方向的角度误差。三个轴共有18项，加上三个轴相互之间的垂直度，共有21项误差。这21项误差是三坐标测量仪测量结果不确定度的一个主要因素 。
   21项误差是三坐标测量仪准确度的基础，其校准是比较复杂的。规范中虽未列入，但在以下情况，21项误差的校准是必要的：新机验收时；长度测量误差校准结果超差时；坐标机搬动后；坐标机修理后。