接触式三坐标测量机的精度的表示方法主要有3种：
(1) 测量机本身的精度：主要是指坐标位置的点位精度。
(2) 重复精度：是测量机重复测量某一尺寸时测量结果的变动范围。
(3) 示值精度：是测量机测量任何已知尺寸所得测量结果的误差范围。