空压机和空气干燥机才是专业净化空气的装置。相对一台三坐标测量仪来说，虽然三坐标测量仪本身配置精密过滤器，但尽量配上空压机和冷冻干燥机，气源设备不仅可以过滤掉空气中的水分、油迹，还能降低三坐标的故障率，延长三坐标测量仪的使用寿命，所以空压机的正确使用非常重要，一般三坐标测量仪使用过程中空压机的操作注意事项主要有：
1、空压机输送的压缩气体温度在40~80℃之间，为保障三坐标测量仪的正常运行，建议安装冷凝设备，否则高温气体在管道内冷凝，形成大量的冷凝水，势必将腐蚀管道，产生铁锈。
2、选用的冷冻干燥机应该具备10℃或更低的露点温度，以防压缩空气喷射到导轨面产生冷凝水。管路内应该设置排水口，用于排除冷凝水和油分。
3、管线禁止使用金属管线，以防生锈污染，尽量采用柔性管线连接，尽量缩短长度，以减少管线中的压降。
4、对于空气湿度较大的区域以及本身空压设备陈旧，压缩空气中含杂质较大，要增加冷冻干燥机等后处理设备。
5、空压机、冷冻干燥机等前置过滤装置，安装在三坐标测量仪后方墙体之上便于观察的位置，放水口处放置盛水容器。
6、把供气部件安装在机房外面，建议空压机到三坐标测量仪的距离不小于50m，主要是防止空压机运行时带来振动源。 否则，需要考虑安装减震装置。