由于压缩空气对三坐标测量机的正常工作起着非常重要的作用，所以对气路的维修和保养非常重要。其中有以下主要项目：
1. 每天使用前检查管道和过滤器，放出过滤器内及空压机或储气罐的水和油。
2. 一般3个月要清洗随机过滤器和前置过滤器的滤芯。空气质量较差的周期要缩短。因为过滤器的滤芯在过滤油和水的同时本身也被油污染堵塞，时间稍长就会使三坐标测量机实际工作气压降低，影响三坐标测量机正常工作。一定要定期清洗过滤器滤芯。建议至少每年更换一次滤芯。
3.定期检查过滤减压阀 ，油雾器的标准树脂杯是否有裂纹及其它缺陷，是否有被污染。
4.过滤器滤芯，油雾器的树脂杯清洗时请采用中性洗涤剂进行，在使用蒸汽进行清洗时，请不要直接喷在上面。
5.在进行维护保养前，务必切断电源，停止供气。