使用三坐标测量机进行测量之初，通常要行探针校正。探针校正的意义如下。
1）正确确定探针的实际位置 使用一根固定的探针，只能测量简单形状的工件，对于深孔、长柱或有多个测量平面的复杂工件，通常需要使用多根探针组合或单探针多转位的可回转测头才能完成测量任务。但处在不同位置的探针将会给出不同的坐标值。为了获得正确统一的坐标值，软件系统必须能自动修正处于不同位置探针的坐标差值。而这些坐标值就是通过探针校正程序来确定，并储存在计算机内部数据库时里。
2）补偿测端球径与探针挠曲变形误差 ，有测量力就会有变形，尽管接触式探针的测量力不是很大，但对于高精度的三坐标测量来说，测量力使得测杆挠曲变形带来的误差是不容忽视的。理论和实践都表明，一根普通的细长探针的挠曲变形可带来数十微米的误差，挠曲变形是一个复杂的物理过程，它受测力大小和测杆长短、粗细、材质以及接触形式等诸多因素的影响。从力学的角度来分析和确定变形量的大小是较困难的，也是不可取的。在三坐标测量的实践中，是通过测量一已知的实物标准（如标准球、量块）得到带有挠曲变形误差的测端作用直径。实际测量时，再和测端作用直径对它进行补偿以获得精密测量结果。在这一补偿中，也在一定程度上补偿了动态探测误差。