三坐标测量机作为精密测量机器的一种，保养是三坐标测量机使用过程中必有的一个课程，对三坐标测量机传动部分进行正确的保养，不仅可以保证三坐标测量机的测量精度，而且可以适当的延长三坐标测量机的使用寿命。
三坐标测量机的传动部分，分为干磨擦部分及润滑部分，干磨擦部分又有气浮轴承及无牙丝杆传动机构之区分，在测量中要注意保养。
三坐标测量机干磨擦部分保养步骤：
1.先用干细棉布或擦拭纸擦拭磨擦表面，以擦拭其灰尘或油污等。
2.也可使用吹气壶，将灰尘吹掉。
3.必要时，可再用干净细干棉布沾上工业用酒精或高级润滑油，擦拭磨擦表面。
三坐标测量机润滑部分保养步骤：
1.先用细棉布将灰尘擦拭干净。
2.润滑部分再加入润滑机油、或由黄油枪加入。