影像测量仪通过使用本身的硬件（CCD，目镜，物镜数据线）将所能捕捉到的图象通过数据线传输到电脑的数据采集卡中，之后由软件在电脑显示器上成像，由操作员用鼠标在电脑上进行快速的测量。因此测二维平面比较方便；而三坐标是通过探针测头与工件的接触来实现测量。       

    它们各有优缺点。影像测量仪采用非接触式测量，使用冷光源系统，可以避免容易变形的工件在测量是因为热而变形所产生的误差。可检测橡胶、软塑料等工件，而且工件可以随意放置。三坐标则是可以自如的测量三维立体工件。测量高精度的几何零件和曲面、复杂形状的机械零部件、自由曲面、可选用接触式或非接触式测头进行连续扫描。      

    另外目前一些影像测量仪（像我们通常所说的2.5D、3D光学影像测量仪），可加装探针，实现Z轴方向高度测量的目的。它是对光学影像二维测量的一种补充。